دراین تحقیق، درمرحله اول ابتدا لایه های نازک آلومینیوم با ضخامت70 نانو متر با استفاده ازروش کندوپاش مغناطیسیDCتحت شرایط انباشت یکسان برروی زیرلایه های کوارتزانباشت شده وسپس بااستفاده ازدستگاه کندوپاش مغناطیسی استوانه ای،لایه های آلومینیوم درزمان های متفاوت تحت تاثیرپلاسمای نیتروژن قرارگرفته وسپس بااستفاده ازکوره حرارتی،لایه های بدست آمده دردمای 600درجه سانتی گرادبه مدت 5 ساعت بازپخت حرارتی شده اند. برای بررسی خواص ساختاری ومورفولوژیکی لایه های بدست آمده ازآنالیزهایXRD وAFMاستفاده شده است. نتایج حاصل از XRDنشان می دهد که قبل وبعدازبازپخت فقط فازآلومینیوم دیده میشود، بااین تفاوت که قبل ازبازپخت راستای کریستالی (111)بوده وپس ازبازپخت راستای کریستالی به (220) تغییر می کند. نتایج حاصل از AFM نشان می دهد که مقدارزبری متوسط وRMS سطح لایه ها،قبل ازعملیات بازپخت حرارتی حالت،با افزایش زمان پلاسما دهی کاهش یافته وپس ازبازپخت افزایش یافته است.