لایه های نازک لیتیم فلوراید به خاطر کاربرد های فراوان از اهمیت خاصی برخوردارند. پوشش نازک از این ماده در کاهش عملکرد الکترون های فلزی بکار می رود . به طوری که به عنوان لایه های دو قطبی موثر عمل کرده و وابستگی منفی الکترو ن ها را در سطح کاهش می دهد. با تابش باریکه یونی به لایه نازکی از لیتیم فلوراید، مراکز رنگی پایداری در دمای اتاق در آن ایجاد می شوند. اکثر مطالعات صورت گرفته مربوط به خواص لیتیم فلوراید تهیه شده روی کوارتز یا سیلیکون بوده است. در این مقاله لایه های نازک لیتیم فلوراید روی زیر لایه های استیل، سرامیک و شیشه تهیه شده است و ریخت شناسی سطحی آنها با استفاده از روش های AFM و XRD مطالعه شده است و نتایج نشان می دهد که برای مشاهده بلور LiF باید دما و یا ضخامت و یا هر دو را افزایش داد.