در این تحقیق از لایه های نازک تلوریوم برای سنجش گاز سولفید هیدروژن استفاده شده است. بدین منظور لایه نازک تلوریوم با ضخامتهای 100٬ 200 و 300 نانومتر به روش تبخیر گرمایی بر روی زیرلایه آلومینا انباشت شده است و اثر ضخامت بر حساسیت لایه نازک تلوریوم بمنظور سنجش گاز H2S مورد مطالعه قرار گرفته است. برای مشخصه یابی نمونه ها از آنالیز پراش پرتو ایکس(XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) استفاده شده است. الگوهای XRD نشان میدهد که با افزایش ضخامت بلوری شدن بهبود پیدا کرده است. با مشاهده تصاویر SEM در میابیم که با افزایش ضخامت اندازه دانه ها بزرگتر شده و پیوستگی در سطح لایه افزایش پیدا کرده و لایه ها یکنواخت تر شده است. با بررسی اثر ضخامت بر سنجش گاز H2S در دمای اتاق متوجه شدیم که با افزایش ضخامت حساسیت کاهش پیدا کرده و زمان پاسخ و ریکاوری افزایش یافته است. همچنین با مطالعه اثر غلظت گاز H2S مشخص شد که با افزایش غلظت حساسیت افزایش پیدا کرده و زمان پاسخ کاهش و زمان ریکاوری افزایش یافته است.